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按晶粒尺度巨细，CVD金刚石涂层可分为微米金刚石涂层和纳米金刚石涂层。微米金刚石涂层的晶粒尺度一般在500 nm到几微米之间，由柱状成长的金刚石晶粒竞争性成长形成，具有硬度高、外表耐磨性好等优异特性，能够明显下降刀具磨损速率，进步刀具寿数。但是，微米金刚石涂层的外表较为粗糙（Ra值一般为几百纳米），涂层耐性及抗裂纹扩展才能较差，外表裂纹容易沿晶界区域扩展引起涂层掉落，使得刀具外表在没有达到磨钝标准之前，涂层已经掉落。纳米金刚石涂层是由呈团簇状分布的纳米级金刚石晶粒构成，晶粒尺度一般在100 nm以下，外表光滑性好（Ra值小于100纳米），在切削过程中可明显下降冲突，从而下降切削力和切削热，进步刀具寿数。纳米金刚石涂层具有杰出的抗裂纹扩展才能，但是，与微米金刚石相比，它与基体结合强度相对较低，加工过程中容易出现涂层掉落等非正常失效。

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